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        TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

        TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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        • TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

        TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

        TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

        產(chǎn)品描述


        4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
        TBA4030F-07-09_TBA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
         
        • ● 采用閉環(huán)伺服控制
        • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長(zhǎng)及Z軸行程
        • ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器
        • ● 可選mapping傳感器類型:對(duì)射式、反射式
        • ●可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

        臂長(zhǎng)

        200/260/320/400mm

          額定/最大負(fù)載

         3kg

        搬運(yùn)物

        ≤Φ300mm晶圓

        新時(shí)達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

        關(guān)鍵詞:

        新時(shí)達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

        規(guī)格參數(shù)

        新時(shí)達(dá)眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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